Nákvæm vinnsla vísar til almenns hugtaks fyrir vinnslunákvæmni og yfirborðsfrágang sem er umfram hefðbundnar frágangsaðferðir. Það felur aðallega í sér nákvæmni klippingu (eins og demant borun og nákvæmni beygja) og hár-slípun. Vinnslunákvæmni þess er venjulega 10 ~ 0,1 μm, með þolmörk IT5 eða hærri, og yfirborðsgrófleiki Ra undir 0,1 μm. Þetta ferli krefst mikillar-nákvæmni véla og fínslípaðs skurðarverkfæra, sem nær mikilli-nákvæmni vinnslu með mjög litlu dýpi skurðar og straumhraða. Í hálfleiðara leysivinnslubúnaði beitir það tækni eins og leysiritun, merkingu og losun, og felur í sér hönnun og framleiðslu á hár-nákvæmni ljóskerfum.
Þetta ferli nær yfir tækni eins og nákvæmni stimplun á hálfleiðara blýgrind og vinnslu flugvéla-hreyfla. Landið mitt hefur náð undir-nanómetra-nákvæmni í vinnslu fyrir sjónræna íhluti, sem hefur slegið í gegn kjarnatækni eins og segulfræði og jóngeisla fægjabúnað. Stefnumótunarverkefni leggja til byltingar í lykiltækni fyrir nákvæmni mótun og létt efnisvinnslu, sem myndar samvinnu nýsköpunarkerfi efna, ferla og notkunar á léttvigtarsviði bíla. Ion geisla fægja vélar hafa náð lágmarks stjórnanlegu efnisfjarlægingarhraða upp á 0,1 nanómetra, sem veitir tæknilega aðstoð við helstu innlenda vísinda- og tækniverkefni eins og samþætta hringrásarframleiðslu.
